導(dǎo)電層的排列
在該示例的電感器中,通常用符號(hào)B表示,螺旋平面線圈2形成在基板1的任一側(cè)上,軟磁合金并且在側(cè)上設(shè)置覆蓋每個(gè)線圈2和基板表面的一側(cè)的緣層3。每個(gè)緣層3被磁性膜4覆蓋,并且線圈2的中間部分通過(guò)形成在基板1的中間的通孔5彼此電連接。此外,端子6延伸到外部。每個(gè)線圈2產(chǎn)生的基板1的厚度。
在如上所述構(gòu)造的電感器B中,通過(guò)緣層3的介入將平面線圈2放置在磁性膜4之間,從而在端子6之間形成電感器。
基板1由陶瓷基板,Si晶片基板,樹(shù)脂基板等構(gòu)成。當(dāng)通過(guò)使用陶瓷材料形成基板1時(shí),可以從以下選擇材料:氧化鋁,氧化鋯,碳化硅,氮化硅,氮化鋁,滑石,莫來(lái)石,堇青石,鎂橄欖石,尖晶石等。為了使基板的熱膨脹系數(shù)接近于Si的熱膨脹系數(shù),期望采用具有高導(dǎo)熱率和較高彎曲強(qiáng)度的材料,例如鋁鎳鐵合金。
平面線圈2由高導(dǎo)電性金屬材料制成,例如銅,銀,金,鋁或這些金屬的合金,并且可以串聯(lián)電連接,并且通過(guò)緣層的中間縱向或橫向地布置。另外,通過(guò)并聯(lián)配置多個(gè)平面線圈2,可以形成變壓器。此外,在基板上形成導(dǎo)電層之后,通過(guò)光刻可以將平面線圈2形成形狀。導(dǎo)電層可以通過(guò)適當(dāng)?shù)姆椒ㄐ纬?,例如壓接,電鍍,金屬噴涂,真空沉積,濺射,離子鍍,絲網(wǎng)印刷或燒結(jié)。